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上海旦顺实业有限公司

烘箱,烤箱,高低温试验箱,恒温恒湿机,防潮箱,防潮柜,干燥箱,干燥机,除湿机

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晶圆片涂胶前160度预热烤箱,180度晶圆片热风预热烤箱
晶圆片涂胶前160度预热烤箱,180度晶圆片热风预热烤箱图片
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产 品: 晶圆片涂胶前160度预热烤箱,180度晶圆片热风预热烤箱 
型 号: COL-2 
品 牌: 上海旦顺 
单 价: 56000.00元/台  
最小起订量: 1 台  
供货总量: 200 台
发货期限: 自买家付款之日起 天内发货
更新日期: 2020-04-10  有效期至:长期有效
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晶圆片涂胶前160度预热烤箱,180度晶圆片热风预热烤箱详细说明

 

 本公司COL-系列无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤,强制送风循环方式双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到最佳温度控制精度。

技术参数:

1. 百级无尘烤箱型号:COL-2

2. 无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500

3. 温度范围:RT60300

4. 无尘烤箱洁净度:100级;

5. 温度均匀性: ±1.5%

6. 波 动 度:±0.5

7.     源:380V 50Hz  7.5KW

8. 箱体材料:外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘(PARTICLE),内室材料:采用SUS304#无磁性镜面不锈钢,保温材料:超细玻璃棉; 

9. 空气循环装置:大容量轴流电机;

10. 加热方式:不锈钢电加热器;

11. 温度测量传感器:Pt100 铂电阻;

12. 控制仪表:进口数显温度控制器,PID调节,控制精度0.1

13. 超温保护仪表:独立于工作室主控制的超温保护系统,保证试验品的安全;

14. 控制系统:主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件;

15. 排 气 口:ф50

16.     板:2层,不锈钢方通,承重约30KG

无尘烤箱热线:021-3769399715221744475 传真:021-37832075联系人:蒋鑫,

网站:www.done-e.com.

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